單價超26億：ASML新一代EUV光刻機上路
芯研所5月21日消息，最新消息稱，荷蘭ASML正在研發(fā)新款光刻機，價值高達4億美元（約合26億元人民幣），雙層巴士大、重超200噸。原型機預計2023年上半年完工，2025年首次投入使用，2026年到2030年主力出貨。
芯研所采編
這款機器應該指的就是High-NA EXE:5200（0.55NA），Intel是全球第一個下單的公司。所謂High-NA也就是高數(shù)值孔徑，2nm之后的節(jié)點都得依賴它實現(xiàn)。
在ASML公布的今年一季度財報中，EXE:5200已經(jīng)訂出去不止一臺。按計劃，第一臺原型試做機2023年開放，預計由imec（比利時微電子研究中心）裝機，2025年后量產(chǎn)，第一臺預計交付Intel。實際上，ASML的EUV光刻機非常龐大，現(xiàn)售的0.33NA EUV光刻機擁有超10萬零件，需要40個海運集裝箱或者4架噴氣貨機才能一次性運輸完成，單價1.4億美元左右。
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